所以马从明和胡兴对此感到奇怪很正常。
想获得波长较短的极紫外光源,要采用的办法是将二氧化碳高功率激光脉冲照射在直径极小的锡滴液靶材上，激发出高功率的等离子体，来作为光刻机的光源。
整个光源系统需要高功率激光器，聚焦和位置控制的真空容器，液滴发生器收集器和计量模块等装置。
其中最关键的技术就是预脉冲，和在高频下产生极小且稳定的锡液滴。
再加上关乎光源装置使用寿命的收集器，难度确实让人无法想象。
可对于已经掌握了全部核心技术的徐磊来讲，想要制造出能够满足这些要求的装置，并不是什么太困难的问题。
面对这种情况，增加科研人员的数量显然是不可能的。
不过为了让他们两个人安心配合自己的工作，最终徐磊还是多说了几句。
“你们担心的问题我都清楚，但我既然敢做出这种人员安排，肯定是有原因在的。”
“相信我。”
“用不了多长时间，你们就会看到成熟的极紫外光源发射系统。”
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